Authors: G Falcone F Piperno F Lely Garolla di Bard
Publish Date: 2007/10/29
Volume: 50, Issue: 1, Pages: 173-183
Abstract
In the collisional theory of sputtering for inert gas ion incident with energy in the eV and lower keV region on polycrystalline copper target the «power crosssection» approximation is generally used In this paper we show that in the 01÷10 keV range the best approximation is the Brinkman crosssection derived from the correspondent potential via the modified hardsphere methodВ теории соударений для процесса распыления поликристаллической медной мишени ионами инертных газов в области энергий от эВ до нескольких кэВ используется приближение «степенного поперечного сечения» В этой статье мы показываем что в области 01÷10 кэВ наилучшее приближение представляет попереречное сечение Бринкмана выведенное из соответствующего потенциала с помощью модифицированного метода твердой сферыNello sputtering da ioni di gas nobile incidenti con energia compresa nella zona bassa dei keV o nella zona degli eV su una targhetta di rame policristallino si adopera generalmente per il calcolo del coefficiente di sputtering la cosiddetta «power crosssection approximation» In questo lavoro noi abbiamo mostrato che nell’intervallo energetico compreso tra 01 e 10 keV una migliore approssimazione è costituita dalla sezione d’urto di Brinkman derivata tramite l’uso del modello a sfera dura del potenziale omonimo
Keywords: